X-FAB，這家已經出貨超過十億MEMS器件的晶圓廠，近日又再次發表業界首個為微機電系統(MEMS)三軸慣性傳感器(3D inertial sensor)提供的開放性平臺，一個可以直接從代工廠量產的工藝。那些需要進入新的3D慣性傳感器的無晶圓設計公司可以直接在這個工藝上進行設計開發或使用X-FAB的合作設計公司的方案，而且可以直接上量，無需再進行長時間和巨資的工藝開發。X-FAB的開放性平臺制程可以加快產品導入市場并保證慣性傳感器的質量。

新型MEMS技術可適用于非常廣泛的應用領域，例如手機、消費與游戲類產品、玩具、汽車、機器人、工業與醫療等使用三軸加速度計(3D accelerometers)、或陀螺儀。同一個工藝可以生產單軸與雙軸的加速度計，而加速度計和陀螺儀亦可在同一個工藝中整合在單一芯片上，以實現六自由度的慣性感測單元。

X-FAB MEMS 產品線經理Iain Rutherford表示：“X-FAB開放性平臺的制程開啟MEMS產業的新世代。我們正在改寫歷史，把‘一個產品、一個工藝’的限制轉換到開放性的平臺，此方法給予任任意客戶使用世界級質量的工藝做多領域的應用開發，此舉能讓我們的客戶快速地實現他們的目標。”

X-FAB的新技術具備高可靠度、單晶硅的慣性質量(inertial masses)與drive-combs、特有的埋層連接(buried contact)技術讓單一的金屬層可以完成復雜的金屬連接、還有低寄生電容和EMI防護。三軸慣性傳感器的新工藝補足了X-FAB于2003年所建立并已被客戶使用的單軸/雙軸慣性傳感器、壓力傳感器、與紅外線感應熱電堆(thermopile)的開放平臺技術，其中還包含現成的2G、10G、100G的加速度計IP。為了保證該技術的特性、穩定與高良率，X-FAB對該三軸慣性傳感器的技術進行一步一步地質量驗證。X-FAB所有的生產工廠均通過ISO9001與ISO TS16949認證。

網絡研討會

X-FAB 將在2012年9月25、26日舉辦一場慣性傳感器新工藝的網絡研討會。 http://www.xfab.com/ch/main/about-x-fab/events/eventsdetail/article/1088/25-26-sep/。

解決方案

該技術現在可提供工程服務與早期的原型設計，所有的質量驗證與設計規則將于2013年初完成并提供。